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“扩散炉、退火炉、氧化炉、合金炉、卧室扩散炉”参数说明
| 是否有现货： | 否 | 认证： | 质量认证 |
| 类型： | 成套加热设备 | 用途： | 电子 |
| 材质： | 不锈钢 | 型号： | 随机 |
| 规格： | 随机 | 商标： | 育豪 |
| 包装： | 篷布 | 产量： | 50 |
“扩散炉、退火炉、氧化炉、合金炉、卧室扩散炉”详细介绍
扩散炉管数：1~4管
主要技术指标：
★炉管内径：Ø90~Ø350（2英寸~8英寸）
★恒温区长度及精度：
≤1000MM±0.5℃(300 ℃~1290 ℃)
★控温仪表：进口高精度温控仪
★气源路数：主管道系统组成：扩散炉主机、推拉舟及净化工作台、气源柜、排毒柜、微机控制柜
1~4路
★气体种类：N2、H2、O2、HCL等
★气源控制：MFC或浮子流量计
★推拉舟行程：最大2000MM
★推拉舟速度范围及精度：（20~1000）
±2MM/MIN
★推拉舟方式：简易式、悬臂式、SIC硅桨式
★冷却方式：水冷+风冷
★工控机：工控机控制
设备特性：
具有多条工艺曲线，调用方便快捷；运行中具有停电记忆功能；
触摸微机界面，操作方便；具有超温保护功能。